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真空系統

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三工位陰極轉移系統

產品特點

  • 該設備為國內首臺套設備,是光電倍增管生產制造核心工藝裝備,可同時完成3只20″倍增管陰極激活與轉移、MCP清刷和銦封等關鍵工序,打破日本企業長期國際壟斷地位。
  • 該設備是集高真空、高溫及多種運動方式于一體的大型復雜真空系統,其生產制造的光電倍增管已用于江門中微子實驗室和高海拔宇宙線觀測站等微觀粒子探測、高能物理研究領域。

應用領域

微觀粒子探測、高能物理
  • 技術指標
  • 尺寸
  • 產品特性
  • 配件
  • 下載
  • 個封頂升力
    0-100N
    定位精度
    0.02°
  • 坡殼旋轉速度
    0-3rpm
    電子槍組件平移運動速度
    0-500mm/min ,重復定位精度±1.5mm
  • MCP組件垂直運動速度
    0-500mm/min ,重復定位精度:±1.5mm
    陰極組件垂直運動速度
    0-500mm/min ,重復定位精度:±1.5mm
  • 溫度均勻性
    ±2.5℃
    除氣加熱溫度
    400℃
  • 工作真空
    5×10E-5Pa
    極限真空
    5×10E-6Pa
    文件名 類型 語言 日期 文件大小

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