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APC插板閥
APC插板閥
產品特點
智能調節,控制簡便快捷。
質量穩定,抗干擾能力強。
配置豐富,人機接口友好。
一體設計,集成化程度高。
安全可靠,低壓直流供電。
應用領域
表面工程、能源科技、平板顯示、IC制造、工業過程等領域
技術指標
尺寸
產品特性
配件
下載
接口法蘭
CF、ISO-F
適用真空度范圍
1E5-1E6
閥體漏率(Pa·m3/s)
≤1.3E-10
開啟壓差
<3000Pa
耐烘烤溫度
≤150℃(控制器Controller≤50℃)
位置控制精度
±0.1%FS
薄膜規信號
0-10V DV
控制器電壓
DC 24V
文件名
類型
語言
日期
文件大小
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