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真空配套

APC插板閥

產品特點

  • 智能調節,控制簡便快捷。
  • 質量穩定,抗干擾能力強。
  • 配置豐富,人機接口友好。
  • 一體設計,集成化程度高。
  • 安全可靠,低壓直流供電。

應用領域

表面工程、能源科技、平板顯示、IC制造、工業過程等領域
  • 技術指標
  • 尺寸
  • 產品特性
  • 配件
  • 下載
  • 接口法蘭
    CF、ISO-F
    適用真空度范圍
    1E5-1E6
  • 閥體漏率(Pa·m3/s)
     ≤1.3E-10
    開啟壓差
    <3000Pa
  • 耐烘烤溫度
    ≤150℃(控制器Controller≤50℃)
    位置控制精度
    ±0.1%FS
  • 薄膜規信號
    0-10V DV
    控制器電壓
    DC 24V
    文件名 類型 語言 日期 文件大小

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