監事會主席
放大率：通過控制掃描區域的巨细來控制放大率的。要是需要高的放大率，需要掃描更小的一塊面積就不妨了。放大率由屏幕/照单方面積除以掃描面積得到
場深：SEM中，位于焦平面上下的一小層區域內的樣品點不妨得到良好的會焦而成象。這一小層的厚度稱為場深，通常為幾納米厚，所以，SEM不妨用于納米級樣品的三維成像。
工作距離：工作距離指從物鏡到樣品最高點的垂直距離。
如果增加工作距離，可以在其他條件不變的情況下獲得更大的場深。
如果減少工作距離，則不妨在其他條件不變的情況下獲得高的分辨率。
通常使用的工作距離在5毫米到10毫米之間。
