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“分析儀器”包括所有须要在真空環境下進行分析的所有應用，如電子顯微鏡使用真空環境下区别粒子的散射成像對物質外观微區形貌進行分析，氣相色譜質譜儀使用真空環境区别核質比粒子質譜圖對物質的種類進行分析，氦質譜檢漏儀使用氦氣在真空環境下離子信號對漏率大小進行測定，在外观科學、材料分析、環境分析中也有著廣泛的應用。