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光伏，即光伏發電系統，是运用半導體原料的光伏效應，將太陽輻射能轉化為電能的一種發電系統。光伏發電系統的能量來源于取之不盡、用之不息的太陽能，是一種清潔、安全和可更生的能源。薄膜太陽能電池是一種新式的光伏器件，能够實現光電轉化。在薄膜太陽電池的制備過程中使用多样各樣的沉積技術，在基材上鍍砷化鎵、銅銦硒、碲化鎘等原料的薄膜能够大大提高光生電流密度，進而提高轉換效率。太陽能電池的沉積工藝如物理氣相沉積 「PVD」 或等離子體增強化學氣沉積「PECVD」均必要在真空環境下進行。