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SE 0.8nm@15kV、1.5nm@1kV
1x-3000000x;光學放大 1x-100x
Schottky 肖特基場發射電子槍
0.2kV-30kV
高真空二次電子探測器、半導體四分割背散射探測器、紅外CCD攝像頭、Inlens探測器
五軸自動大樣品臺
電子光學鏡筒部分:1000×1000×1730(mm)
電器柜控制部分:1330×850×740(mm)
高分辨電子光學系統
高效便捷的用戶體驗
高性能信號探測系統