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真空獲得

FF-200/1300

產品特點

  • 任意角度安裝，便于系統集成，緊湊型結構
  • 復合抽氣結構，高前級壓強下仍保持較大抽速
  • 高強度轉子，適用于復雜工業過程
  • 使用方便、應用范圍廣、性能穩定

應用領域

科學研究加速器碳化硅晶體晶振光伏Low-E玻璃鍍膜ITO鍍膜光學鍍膜裝飾鍍膜平板顯示真空爐電真空新能源新材料真空干燥低溫制冷電子器件
  • 技術指標
  • 尺寸
  • 產品特性
  • 配件
  • 下載
  • 進氣口法蘭
    DN200 CF DN200 ISO-K
    排氣口法蘭（ISO-KF）
    DN40
  • 抽速速率（L/s）
    N2：1300 He：1000 H2：480 Ar：1250
    壓縮比
    N2：1E9 He：1E4 H2：6E3 Ar：1E9
  • 極限壓強（Pa）
    CF：6E-7 ISO-K：6E-6
    最大連續前級壓強（Pa）
    240
  • 最大前級壓強（Pa）
    N2：600
    最大氣載量（sccm）
    N2：2500 He：1850 H2：1450 Ar：950
  • 額定轉速（RPM）
    24000
    啟動時間（min）
    ≤9
  • 冷卻方式
    水冷
    冷卻水流量（L/min）
    ≥1
  • 冷卻水溫度（℃）
    ≤25
    電源電壓（V AC）
    DC24/AC220
  • 最大功率（W）
    ≤500
    配電源型號
    TCDP-II、FD-IIB、TD-II/TCP-II
  • 建議前級泵（L/s）
    15
    重量（kg）
    29(LF) 31(CF)




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