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真空獲得

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CXF-320/3001CVS

產品特點

  • 高性能氣體輸送渦輪葉片
  • 耐反應產物沉積結構與功能
  • 豐富的配件與可擴展性

應用領域

光刻、物理氣相沉積 PVD、化學氣沉積 CVD、離子刻蝕、平板顯示、LED/OLED、等離子考究、粒子加速器
  • 技術指標
  • 尺寸
  • 產品特性
  • 配件
  • 下載
  • 進氣口法蘭
    DN320 ISO-F
    加熱溫度
    60至70℃
  • 排氣口法蘭
    KF40
    抽速速率（L/s）
    N2:2950 Ar:2750 He: 2300 H2:1100
  • 壓縮比
    N2:1E8 Ar:1E8 He: 1E4 H2:1E3
    極限壓強（Pa）
    1E-7（橡膠密封Rubber seal） 
  • 最大瞬時入口流量（sccm）
    2100
    保護氣入口法蘭（選配）
    KF10
  • 推薦保護氣體流量（sccm）
    50
    最大允許磁場強度（mT）
    徑向Radial：3 軸向 Axial：15
  • 額定轉速（RPM）
    21000
    啟動時間（min）
    ≤9
  • 停機時間（min）
    ≤12
    冷卻方式
    水冷
  • 冷卻水流量（L/min）
    3
    冷卻水溫度（℃）
    20±5
  • 電源電壓（VAC）
    220±10%，50Hz 110±10%，60Hz
    最大功率（W）
    1000
  • 適配電源型號
    CXFD-1001S
    控制線纜長度（m）
    5或10（選配）
  • 建議前級泵（L/s）
    ≥30
    重量（kg）
    73（ISO-F）
    文件名 類型 語言 日期 文件大小

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